6.4 涂布


6.4.1 涂布机测厚仪设备区域属于安全重点监控区域,应对辐射环境定期进行检测。
6.4.2 X 射线应选择豁免级别的设备,β射线宜选用豁免级别的设备(包括采用增加铅板厚度等方法来实现达到距离设备表面 0.1 米处的辐射率不超过 1μGy/h(吸收剂量),累积计量不超过 1mSv/a(有效剂量)),应满足 GB 18871《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》。
6.4.3 个人辐射剂量计宜安装在设备操作表面,累积计量不超过 1mSv/a。
6.4.4 电极涂布工序 NMP 回收应保证系统的密闭性,避免 NMP 挥发并扩散到其他生产区域,污染环境。
6.4.5 涂布的加热设备如果采用蒸气或导热油的方式,无需采用防爆措施;如果是采用电加热方式,直接接触 NMP 蒸气的电热部分需要使用防爆电器或控制蒸气浓度不大于爆炸下限的 50%;涂布机的烘道需要配备 NMP 浓度自动监控装置,自动监测并具备报警、超限停机功能。电加热器前方需要有滤网,阻止异物点燃;采用电加热方式的涂布设备需要有停机排风的延时功能。


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